Ferrotec(中國)単結晶爐
安定、清潔,全自動、安全性、均一性、管理、操作およびメンテナンスの利便性、人間性の設計;溶接技術は日本のJIS規格を採用し、チャンバーを二重構造の水冷式設計を行って降り、圧力変化等の異常時に於いても、リリーフ弁、及び裝置構造により安全を確保します。各裝置には、集中管理システム用の接続コネクターを裝備している事から採用する事に依り集中監視/管理を行う事が出來ます。
半導體の製造に使用される;