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炭化珪素部品

炭化珪素製品の中でSVD-SiCは、半導(dǎo)體生産裝置の冶具や部品として急成長しています。炭化珪素は珪素と炭素を1:1の比率で結(jié)合された一種の化合物で、????????、???????????について3番目の硬度を持っています。 Ferrotecの保有する、珪素と炭素の???をCVD工法技術(shù)で製造しており、????を例にすると、CVD法で炭化珪素を円盤上の???????の上面に積層させ、外周部を加工後、高溫酸化で???????基材を除去します。そして各工程の後加工を?qū)g施し????が完成します。炭化珪素は航空宇宙、??????等最先端分野で必要とされる材料で多くの注目をされている材料です。

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連絡(luò)先番號： 0571-88995910

E-mail： ceramics@ferrotec.com.cn

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耐熱性

化學(xué)的安定性

耐酸化性

炭化珪素部品の特徴

Ferrotecの炭化珪素製品は高い耐酸性、化學(xué)安定性と耐熱性を備えており、2000℃の高溫下でも安定した特性を保持します。半導(dǎo)體材料の製造工程で必要な????、?????及び????代替の????????に広く使用される他、高溫で使用される?????冶具にも利用されています。また、半導(dǎo)體製造裝置、航空分野、自動車分野、人口衛(wèi)星、??????分野等の最先端分野での幅広く活用されています。

応用シーン