精密洗浄技術
継続的に向上している半導體制の要求に対応するために、アメリカ、日本の一流技術の支持を頼りに、陶磁器の溶射技術の研究開発と量産を成功させました。
技術背景：
（1） フェローテック(中國)は18年間精密洗浄事業を行っております。數が多くまた成熟な洗浄BKMを持っています。技術上の革新、イノペーションを継続続く。
（2） 世界的に有數な半導體裝置メーカー精密洗浄技術を開発しております。
（3） 失効分析及び新技術研究開発能力が上昇するために、洗浄技術力向上を目指し、2019年第1四半期で新たな精密洗浄技術開発センターを設立。
洗浄環境：
（1）プロセス別の洗浄ラインを完備し、Cu/Non-Cuラインを構築する事で、汚染リスクの低減を図っております。
（２） ダウンフロークリーンルームにより無塵環境を実現
設備能力
設備 | 上海工場 | 大連工場 | 銅陵工場 |
コンプレッサー | コンプレッサー | コンプレッサー | オイルレスコンプレッサー |
CDA/N2 | CDA | N2(99.999%) | N2(99.999%) |
純水 | 高い純水（>16MΩ） | 超純水（>18MΩ） | 超純水（>18MΩ） |
クリーンルーム | 亂流方式クリーンルーム（クラス1000，クラス100） | 亂流方式クリーンルーム（クラス1000，クラス100） | ダウンフロークリーンルーム（クラス100，クラス10） |
生産環境 | 多種類製品が混合 | 専用生産ライン、環境コントロールできる | 専用生産ライン、環境コントロールできる |
自動化設備 | 無し | 自動ブラスト裝置、自動高圧洗浄機 | 自動ブラスト裝置、自動高圧洗浄機 |
精密計測設備
計測項目 | 計測機 | 検出能力 |
表面パーティクル | パーティクルカウンター | 0.1um |
液體パーティクル | リキッドパーティクルカウンター | 0.1um |
寸法検査 | 三次元測定機 | 1μm |
微細穴 | 投影検査裝置 | 全自動、1μm |
ミクロクラック | Keyence | 3000X |
マイクロクラック | C-SAM | 超音波顕微鏡 |
