一、項目概況
項目名稱：杭州中欣晶圓半導體股份有限公司半導體大硅片（200mm、300mm）項目
建設單位：杭州中欣晶圓半導體股份有限公司
建設地點：浙江省杭州大江東產業集聚區智造谷以東、江東七路以南、錢江直河以西、臨鴻路橫河以北。
建設內容和規模：項目用地性質為工業用地，地上建筑面積控制166936.8~278228平方米，項目建成后形成年產480萬片200mm半導體硅片和年產240萬片300mm半導體硅片的生產能力。項目估算總投資600000萬元，其中建設投資539700萬元，流動資金50000萬元。
二、環境影響分析
1、環境空氣影響預測與評價
本項目主要廢氣主要為磨片后清洗(1)工段產生含鹽酸酸霧廢氣；磨片后清洗(5)工段、堿性蝕刻（1）工段產生含氫氧化鈉的堿性廢氣；CP后清洗（1）CVD前清洗（1）貼付前清洗（1）洗凈（1）工段產生含氨廢氣；CP后清洗（3）、CVD前清洗（3）、CVD后端面處理（2）洗凈（3）工段產生含氟化物廢氣；化學（CP）腐蝕產生含氟化物、氮氧化物、醋酸廢氣；氣相成碳工段產生含硅烷和顆粒物的廢氣。含堿性、酸性廢氣通過二級噴淋處理后排放；含氮氧化物廢氣經三級噴淋處理達標后排放，對大氣環境影響不大。 2、水環境影響評價
項目廢水主要為生活污水及生產工藝廢水，工藝廢水主要來自倒角、磨片、CVD后端面處理、ML的清洗廢水；磨片后清洗、堿性蝕刻的酸堿廢水；化學腐蝕及清洗；CP后清洗（3）、（4）；CVD后端面處理（2）、（3）；洗凈（3）（4）；廢氣噴淋塔排污的含氟廢水；CP后清洗（1）、（2）；CVD前清洗（1）、（2）；貼付前清洗（1）、（2）；洗凈（1）（2）的含氨廢水；廢水經廠內污水處理站預處理達到《污水綜合排放標準》三級標準后送臨江污水處理廠處理。
3、聲環境影響評價
根據預測，項目對各廠界晝、夜噪聲貢獻不大，能滿足《工業企業廠界環境噪聲排放標準》（GB12348-2008）3類標準要求，對周圍聲環境影響不大。
4、固廢處置環境影響評價
本項目危險廢物均委托有危廢處置資質的單位處理處置，一般固廢綜合利用，生活垃圾由當地環衛部門統一收集處理。各固體廢物均得到妥善處理處置，無固體廢物直接排放環境，對周圍環境影響較小。
三、預防和減輕不良環境影響的對策和措施要點
本項目污染防治對策匯總表見表2。
表2 本項目污染防治對策匯總表
分類 | 對策措施說明 |
廢水 | 廢水收集系統 | 全廠實施雨、污分流；清、污分流。 |
廢水處理工程 | ①新建廢水處理站，采用清洗污水回收+廢水物化+生化處理工藝，經處理達標后納入市政污水管網，最終排入臨江污水處理廠。 ②生活污水經過隔油池+化糞池處理后排入市政污水管網，最終排入臨江污水處理廠。 |
廢氣 | 廢氣處理系統 | 含堿性、酸性廢氣通過二級噴淋處理后排放；含氮氧化物廢氣經三級噴淋處理達標后排放。 |
固廢 | 工業固廢、生活垃圾 | ①危險廢物委托有危廢處置資質的單位處理處置。 ②一般固廢外售進行綜合利用；生活垃圾委托環衛部門清運。 ③本項目建成后按照固體廢物的性質進行分類收集和暫存。其中危險固廢按《危險廢物貯存污染控制標準》（GB18597-2001）及2013年修改清單相關要求執行，一般固廢堆場按《一般工業固體廢物貯存、處置場污染控制標準》（GB18599-2001）及2013年修改清單相關要求執行。 |
噪聲 | 生產車間 | ①合理布局，選用低噪設備，對高噪設備進行消聲減震和隔聲處理，降低噪聲對廠界的影響。 ②加強噪聲設備的維護管理，避免因不正常運行所導致的噪聲增大。 ③綠化降噪。 |
四、環評結論
杭州中欣晶圓半導體股份有限公司半導體大硅片（、）項目符合國家產業政策導向、環境功能區規劃；在營運過程中產生一定量的水、氣、聲、固廢等污染物，經處理后能做到達標排放要求，排放污染物符合國家、省規定的污染物排放標準，并符合國家、省規定的主要污染物排放總量控制指標；處理達標后的污染物對環境的影響是可以承受的，符合建設項目所在地環境功能區劃確定的環境質量要求。因此項目只要在建設和營運過程中，認真落實本報告提出的各項污染防治措施，認真執行各項環保法規、制度，從環境影響的角度來看，本項目是可行的。
五、公眾了解項目環保信息的方式
公眾(個人或團體)如要了解本項目的環境影響情況，可以信函、電話或其他方式與建設單位、環評單位、環保部門聯系索要本項目的環境影響報告書簡本，建議團體單位加蓋公章，個人應具名并說明聯系方式。公眾對該項目建設的意見或建議，可在公示之日起十個工作日內，向環評單位或環保主管部門提出，環評單位將在《環境影響報告書》中真實記錄公眾的意見和建議，并將公眾的寶貴意見、建議向工程的建設單位、設計單位和有關部門反映。公示時間為2017年3月12日-2018年3月24 日。
(1)建設單位：杭州中欣晶圓半導體股份有限公司， 電話：13175059618，許工
(2)環評單位：浙江省環境科技有限公司， 電話：0571-87995270，覃工
(3)審批部門：大江東經發局， 電話：0571-82987912
[注]：請公眾在發表意見的同時盡量提供詳盡聯系方式。
杭州中欣晶圓半導體股份有限公司
2018年3月12日
