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石英坩堝

純度高且耐熱性強(qiáng)的石英坩堝在單晶硅的拉制過程中是必不可少的部件。石英坩堝的性能對單晶硅的成晶率有較大的影響，F(xiàn)errotec(中國)坩堝事業(yè)部一直圍繞著如何提高客戶的成晶率不斷的進(jìn)行技術(shù)革新，也取得了很大的突破。為了滿足不同客戶的多樣性生產(chǎn)需求，我司研發(fā)出四大系列石英坩堝，應(yīng)對客戶不同的拉晶工藝。石英坩堝尺寸我們目前可覆蓋14英寸到32英寸，并具備按照客戶要求定制更大尺寸的技術(shù)能力。后工序加工我們歷時三年開發(fā)出一套全自動化生產(chǎn)線，確保石英坩堝品質(zhì)穩(wěn)定。

石英坩堝系列

AQM-10系列，內(nèi)壁含有透明層的天然石英坩堝；AQM-20系列，高純天然石英坩堝，在AQM-10的基礎(chǔ)之上增加高純天然砂，內(nèi)表面純度較高；AQM-30系列，合成石英坩堝，內(nèi)表面純度更高，適用于高級別硅棒的拉制；AQM-40系列，內(nèi)表面結(jié)晶化的天然石英坩堝，適應(yīng)多次加料工藝，長時間使用。

AQM-10系列

適用于：太陽能單晶硅的拉制。

AQM-20系列

適用于:半導(dǎo)體和太陽能單晶硅的拉制，主推型號：AQM-21。

AQM-30系列

適用于：半導(dǎo)體單晶硅的拉制，主推型號：AQM-31。

AQM-40系列

適用于：太陽能和半導(dǎo)體單晶硅的拉制，主推型號:AQM-42。

為了達(dá)到透明中少氣泡化，F(xiàn)errotec在熔融工藝以及設(shè)備性能上面不斷探索，目前每個系列的主打型號均采用了少氣泡化的工藝。

透明層中少氣泡

關(guān)于內(nèi)表面結(jié)晶化，F(xiàn)errotec研發(fā)出新型涂層工藝，AQM-40系列坩堝即使用此工藝。

內(nèi)表面結(jié)晶化

關(guān)于高純度化，F(xiàn)errotec采用高純度原材料，各工序嚴(yán)控金屬元素污染源。后工序作業(yè)引進(jìn)全自動化生產(chǎn)線以及凈空房，保證生產(chǎn)過程不受雜質(zhì)污染，嚴(yán)格保證石英坩堝的純度。

內(nèi)表面高度純化

Ferrotec石英坩堝優(yōu)點(diǎn)

透明層中少氣泡和內(nèi)表面結(jié)晶化以及內(nèi)表面純化，這三個技術(shù)要點(diǎn)是Ferrotec 生產(chǎn)出高品質(zhì)石英坩堝的秘訣。透明層中少氣泡可以讓坩堝適應(yīng)長時間的拉制；內(nèi)表面結(jié)晶化，是在內(nèi)表面形成一層致密的結(jié)晶層，防止石英結(jié)晶體脫落，隔絕石英坩堝與硅液的反應(yīng)，提升單晶硅的成晶率；內(nèi)表面純化，會讓坩堝內(nèi)表面不易失透，不影響單晶硅的成晶。

Matrix diagram of applications in various fields

各領(lǐng)域的應(yīng)用之矩陣圖

半導(dǎo)體相關(guān)

石英坩堝

半導(dǎo)體制造過程用；

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